Метод выбора вакуумного насоса
При выборе вакуумного насоса необходимо обратить внимание на следующие вопросы:
1. Рабочее давление вакуумного насоса должно соответствовать требованиям к предельному вакууму и рабочему давлению вакуумного оборудования. Например, для вакуумного покрытия требуется степень вакуума 110-5мм рт.ст., а степень вакуума выбранного вакуумного насоса должна быть не менее 510-6мм рт.ст. Обычно степень вакуума насоса выбирается наполовину или на порядок выше степени вакуума вакуумного оборудования.
2. Правильно выбрать рабочую точку вакуумного насоса. Каждый насос имеет определенный диапазон рабочего давления, например: диффузионный насос составляет 10-3~10-7 мм рт.ст., в таком широком диапазоне давления скорость откачки насоса изменяется в зависимости от давления, и его стабильная работа диапазон давления составляет 510-4 ~510-6 мм рт.ст. Поэтому рабочую точку помпы следует выбирать в этом диапазоне, и нельзя допускать, чтобы она работала длительное время ниже 10-8 мм рт.ст. Другой пример: титановый сублимационный насос может работать под 10-2мм рт.ст., но его рабочее давление должно быть меньше 110-5мм рт.ст.
3. Под своим рабочим давлением вакуумный насос должен быть в состоянии удалить весь газ, образующийся в процессе работы вакуумного оборудования. 4. Правильно совместите вакуумный насос. Из-за выборочной откачки вакуумных насосов иногда один тип насоса не может удовлетворить требования к откачке, и необходимо объединить несколько насосов, чтобы дополнять друг друга для удовлетворения требований к откачке. Например, титановый сублимационный насос имеет высокую скорость откачки водорода, но не может перекачивать гелий, в то время как трехполюсный ионно-распыляющий насос (или двухполюсный ионный насос с асимметричным катодом) имеет определенную скорость откачки аргона. В сочетании вакуумное устройство получит лучшую степень вакуума. Кроме того, некоторые вакуумные насосы не могут работать при атмосферном давлении и требуют предварительного вакуума; некоторые вакуумные насосы имеют выходное давление ниже атмосферного давления и требуют форвакуумного насоса, поэтому все они должны использоваться в комбинации.
5. Требования к масляному загрязнению вакуумного оборудования. Если требуется, чтобы оборудование было безмасляным, следует выбрать различные безмасляные насосы, такие как: водокольцевой насос, адсорбционный насос с молекулярным ситом, насос с ионным распылением, криогенный насос и т. д. Если требования не являются строгими, вы Можно выбрать масляный насос, а также некоторые меры по борьбе с загрязнением масла, такие как добавление холодных ловушек, перегородок, масляных ловушек и т. Д., Также могут соответствовать требованиям чистого вакуума.
6. Понять состав перекачиваемого газа, содержит ли газ конденсируемые пары, есть ли частицы пыли, является ли он коррозионным и т. д. При выборе вакуумного насоса необходимо знать состав газа и выбрать соответствующий насос для газ, который нужно закачать. Если газ содержит пары, частицы и коррозионно-активные газы, следует рассмотреть возможность установки вспомогательного оборудования, такого как конденсаторы, пылеуловители и т. д., на входном трубопроводе насоса.
7. Как пары масла, выходящие из вакуумного насоса, влияют на окружающую среду? Если окружающая среда не допускает загрязнения, вы можете выбрать безмасляный вакуумный насос или выпустить пары масла наружу.
8. Влияет ли вибрация, создаваемая вакуумным насосом, на процесс и окружающую среду. Если технологический процесс не позволяет, выберите насос без вибрации или примите антивибрационные меры.
9. Цена, стоимость эксплуатации и обслуживания вакуумного насоса.